MEMS全称为微型电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来，融合了微电子加工工艺和精密机械加工等技术制作的微米级电子机械器件，涉及微电子、机械、材料、力学、化学、生物学等诸多学科领域。 MEMS被广泛用于传感器领域，常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度计以及它们的集成产品，广泛应用于消费电子、汽车、医疗、工业、通信、国防和航空航天等领域。 MEMS传感器在结构上主要由微型传感器、微电子控制器、执行器和电源组成。 我们日常接触最多的消费电子产品中，MEMS传感器正被广泛的应用。一个智能手机中的MEMS传感器就有声学、光学、环境、运动、通信、安全和交互等，这些传感器使得电子设备更具互动性和智能化。 |
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